Сканирующий электронный микроскоп JSM-6380LA

Ускоряющее напряжение до 30 кВ. Разрешающая способность 3нм в режиме регистрации вторичных электронов. Режим рег. обратнорассеянных электронов (топография, композиция и с оттенением). Режим низкого вакуума для влажных и склонных к статике и образцов. Встроенный рентгеноспектральный анализатор JED-2300: диапазон элементов от бора до урана, анализ в точке, профиль по линии, картирование по площади.