Установка вакуумного термического напыления тонких пленок «Дана Инжиниринг» [1015-44-2021]

• Объем вакуумной камеры – 300 литров; • Глубина вакуума - не менее 5*10-4 Па; • Максимальная температура напыления – 1500 оС; Материал испарительного тигля – вольфрам, корунд; • Скорость откачки высоковакуумного насоса – не менее 720 л/с; • Отклонение толщины напыления от средней величины толщины подложки - не более 5%; • Контроль толщины напыления - по кварцевым водоохлаждаемых измерителям толщины (КИТ) с пневмозаслонками.

Производитель: