Остаточное рабочее давление в камере микроскопа - не более 1*10^-10Торр, пьезоэлектрический манипулятор точных перемещений - триподного типа; максимальный диапазон перемещений 2.3мкм х 2.3мкм х 1.2мкм; возможность замены зондирующего острия и образцов in situ; возможность прямого и косвенного нагрева образца; высокоэффективная виброизоляционная система; электронный блок управления Scala SPM с программным обеспечением

На основной длине волны 1064 нм длительность импульса 10 нс, энергия до 1.5 Дж. На длинах волн второй (532 нм) и третьей (355 нм) гармоник энер-гия импульса до 800 и 350 мДж . Параметрический генератор света позволяет плавно перестраивать длину холостой волны от 1.1 до 2.5 мкм.