Исследование микроструктуры, морфологии и локального состава материалов (в т.ч. наноматериалов)
ускоряющее напряжение 100 В - 30 кВ; макс. увеличение 600000; разрешение <1 нм; разрешение EDX детектора 129 эВ на линии Kα(Mn), скорость счета до 100000 имп/с