Лаборатория зондовой и электронной микроскопии
     
     
 


Факультет: Физический

Список оборудования:
Фото Наименование Лаборатория Назначение Технические характеристики
Модернизированный сканирующий зондовый микроскоп НТ-МТД (Solver P47H PRO) Модернизированный сканирующий зондовый микроскоп НТ-МТД (Solver P47H PRO)
Исследование морфологии и микроструктуры материалов, в т.ч. наноматериалов Размер образца: 100 мм х 100 мм х 40 мм и неограниченный с измерительной головкой, используемой в качестве выносной. Тип сканирования: XYZ сканирование зондом, XYZ сканирование образцом, одновременное сканирование зондом и образцом. Измерительные методики: контактная атомно-силовая микроскопия (АСМ); микроскопия латеральных сил (МЛС); резонансная АСМ полуконтактная; резонансная АСМ бесконтактная; метод отображения фазы; метод модуляции силы; изображение силы адгезии; отображение сопротивления растекания; сканирующая емкостная микроскопия (СЕМ); метод зонда Кельвина (МЗК); магнитно – силовая микроскопия (МСМ); электро-силовая микроскопия (ЭСМ); АСМ-силовая литография; АСМ-токовая литография; резонансная литография; снятие силовых кривых; измерение вольт-амперных характеристик; наноманипуляции. Пассивная виброизоляция от 7 Гц, активная виброизоляция в диапазоне 0.7–1000 Гц, наличие системы акустической изоляции и электростатического экранирования для одновременной работы с видеомикроскопом. Моторизованный подвод образца. Диапазон позиционирования образца в плоскости XY: 5 мм х 5 мм. Точность позиционирования образца в плоскости XY: 5 мкм.. Сканер: емкостные датчики перемещения по координатам XYZ: максимальный диапазон сканирования 100 мкм х 100 мкм х 10 мкм. нелинейность по XY менее 0,4% Z шум RMS в 1000 Hz полосе менее 0,05 нм; дополнительный сменный сканер высокого разрешения с диапазоном сканирования 1 мкм х 1 мкм х 1,1 мкм. Разрешение видеомикроскопа: 3 мкм. Возможность наблюдения образца при использовании системы акустической изоляции и электростатического экранирования: Универсальная сканирующая АСМ головка: трехкоординатное сканирование зондом система слежения за XYZ перемещениями зонда емкостные датчики перемещения по координатам XYZ изготовлена полностью из немагнитных материалов. Длины волн лазеров в системе регистрации отклонения кантилевера: 2 лазера с длиной волны 650 нм. Диапазон измерения токов растекания: 50 пА–10 нА (линейно), 10 нА–100 мкА (нелинейно). Диапазон подаваемого на зонд напряжения: от –10 В до +10 В. Программное обеспечение NOVA для получения изображений и ImageAnalysis для обработки полученных результатов, Блок управляющей электроники: цифровая система контроля сигналов поступающих от измерительных головок и датчиков сканеров возможность одновременного поддержания 2 обратных связей возможность одновременного детектирования до восьми сигналов на одном проходе возможность фильтрации шумов управляющих сигналов
Комплекс на базе просвечивающего электронного микроскопа LEO 912 ab Комплекс на базе просвечивающего электронного микроскопа LEO 912 ab
Исследование микроструктуры, морфологии и локального состава материалов (в т.ч. наноматериалов) Ускоряющее напряжение: 60, 80, 100, 120 кВ. Область освещения: 75 мкм. Увеличение: от 80х до 500 000х. Разрешение изображения: 0,2 – 0,34 нм Область измерения энергии неупругого рассеяния: 0–2500 эВ. Характерными особенностями данного микроскопа являются: 1. Энергетический фильтр 2. Система освещения по Келлеру Энергетический фильтр Основной особенностью просвечивающего электронного микроскопа LEO 912 AB является использование полностью магнитного омега спектрометра с энергетическим фильтром, интегрированным непосредственно в оптическую систему инструмента. Система освещения по Келлеру обеспечивает однородное освещение образца параллельным пучком электронов. Автоматическая система обеспечивает освещение только того участка образца, изображение которого появляется на флуоресцентном экране микроскопа, что позволяет избежать нежелательного повреждения других участков образца электронным лучом.

К списку структурных единиц


 
     
     


6