Длина волны возб. 1.06 мкм, 400 мВт Nd:YAG
Лазеры с длиной волны 405 нм (50 пс) и 680 нм (50 пс). Система счета фотонов.
Поле сканирования 100х100 мкм, высота - 5 мкм, разр. сила выше 1 нм Контактный и полуконтактный режимы работы, токовая и силовая литография.
К списку структурных единиц