Центр коллективного пользования МГУ им. М.В. Ломоносова - Лаборатория технологии напыления тонких пленок и многослойных наноструктур

Лаборатория технологии напыления тонких пленок и многослойных наноструктур

Микромир

Факультет: Физический

Список оборудования:

Фото	Наименование	Лаборатория	Назначение	Технические характеристики
	Вакуумный универсальный пост ВУП-5М		Напыление различных покрытий и формирование контактов для электрофизических измерений.	Остаточн. давл.: P=10^-4 Па. Ток накала испарителя: I=200 A. Макс. темп. нагрева образца: Т=1100 ⁰С
	Напылительная установка Sputter-Coater		Формирование наноструктур и контактов для электрофизических измерений.	Скорость откачки 210 л/с, разрешение 0,1 нм, скорость напыления - до 1000 нм/с

Фотогалерея

А знаете ли Вы
Что такое метод электронного парамагнитного резонанса?