Лаборатория технологии напыления тонких пленок и многослойных наноструктур
     
     
 


Факультет: Физический
Ответственный и его телефон: к.ф.-м.н. Жигунов Денис Михайлович (495)9394681

Список оборудования:
Фото Наименование Лаборатория Назначение Технические характеристики
Вакуумный универсальный пост ВУП-5М Вакуумный универсальный пост ВУП-5М
Напыление различных покрытий и формирование контактов для электрофизических измерений.

Остаточн. давл.: P=10-4 Па. Ток накала испарителя: I=200 A. Макс. темп. нагрева образца: Т=1100 0С

Напылительная установка Sputter-Coater Напылительная установка Sputter-Coater
Формирование наноструктур и контактов для электрофизических измерений.

Скорость откачки 210 л/с, разрешение 0,1 нм, скорость напыления - до 1000 нм/с


К списку структурных единиц


 
     
     


6